Представлена модель, позволяющая проанализировать эволюцию механических напряжений в окрестности границы раздела «покрытие – подложка» в условиях обработки. В модели учитываются разные механизмы формирования напряжений, включая изменения температуры и фазового состава. Показано, что напряжения в покрытии значительно превышают предел прочности материала, а в их величину основной вклад вносит именно изменение состава.