Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T22:39:21Z

Аннотация:

Выявлены особенности влияния смены полярности приложенного к обкладкам тонкопленочных конденсаторов напряжения на изменение напряжения электрического пробоя. Установлена причина уменьшения напряжения первого пробоя тонкопленочного конденсатора при смене полярности приложенного напряжения. Данное уменьшение обусловлено сильным увеличением напряженности электрического поля в объеме диэлектрика за счет накопления на микроостриях электродов отрицательного объемного заряда, когда электрод был под отрицательным потенциалом. Данный эффект наблюдается в конденсаторных структурах Al–SiO2–Al и Al–TiO2–Al, что позволяет предположить его универсальность и распространить на весь спектр диэлектрических пленок, используемых в микроэлектронике.

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 3. С. 92-96