Влияние условий горения электродугового разряда на размер микрокапельной фракции в нитридном покрытии

Савчук, Михаил Викторович; Денисов, Владимир Викторович (канд. техн. наук); Денисова, Юлия Александровна; Егоров, Артем Олегович; Ковальский, Сергей Сергеевич; Яковлев, Владислав Викторович

Влияние условий горения электродугового разряда на размер микрокапельной фракции в нитридном покрытии

Савчук, Михаил Викторович, Денисов, Владимир Викторович (канд. техн. наук), Денисова, Юлия Александровна, Егоров, Артем Олегович, Ковальский, Сергей Сергеевич, Яковлев, Владислав Викторович

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2022-10-06T22:47:02Z

Аннотация:

Исследуется влияние условий и параметров синтеза нитридных покрытий, формируемых в газо-металлической плазме разрядов низкого давления, на их свойства. Изучалось влияние повышенной концентрации плазмы и режима (стационарного и импульсно-периодического) горения дугового разряда с катодным пятном, а также влияние условий теплоотвода от катода-мишени на количество микрокапель в покрытиях системы TiN на подложках из инструментальной стали. Количество микрокапель в покрытии уменьшается не менее чем в 2 раза при напылении в импульсно-периодическом режиме горения катодно-дугового разряда и при ассистировании газовой плазмой, формируемой дополнительным источником плазмы.

Ключевые слова:
газо-металлическая плазма, нитридные покрытия, экспериментальные исследования

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. T. 64, № 11. С. 158-163