Особенности технологии и функционирования металлоксидных сенсорных датчиков на подложках нового типа

Зарапин, Виталий Георгиевич; Лугин, Валерий Геннадьевич; Жарский, Иван Михайлович; Шишкин, Николай Яковлевич

Особенности технологии и функционирования металлоксидных сенсорных датчиков на подложках нового типа

Зарапин, Виталий Георгиевич, Лугин, Валерий Геннадьевич, Жарский, Иван Михайлович, Шишкин, Николай Яковлевич

Дата публикации: 1997

Дата публикации в реестре: 2022-11-01T12:16:38Z

Аннотация:

Успешное решение проблем экологии, связанных с атмосферой, и управление технологическими процессами с участием--газообразных веществ весьма затруднительны без получения достоверной количественной информации о химическом составе газообразных или парообразных смесей. Одним из последних направлений получения такой информации является использование химических сенсоров - первичных измерительных преобразователей химического состава газов в электрический или любой другой, удобный для обработки, сигнал.

Ключевые слова:
датчики сенсорные металлоксидные, металлоксидные сенсорные датчики, сенсорные датчики, микроэлектроника, химические сенсоры, сенсоры химические

Тип: Article

Особенности технологии и функционирования металлоксидных сенсорных датчиков на подложках нового типа

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация