Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2022-11-01T12:44:02Z

Аннотация:

Увеличение производительности магнетронной распылительной системы путем повышения тока разряда негативно влияет на работу магнетронной распылительной системы (МРС). В связи с этим наибольший интерес предоставляет МРС с жидкофазной мишенью. В данной статье рассмотрены две основные конструкции МРС с жидкофазной мишенью. Предоставлены основные преимущества и недостатки данных конструкций и сравнительная характеристика с обычными МРС. Так же сделаны выводы про внедрение данных систем в производство.

Тип: Working Paper