Перенос массы при осаждении молибденовых покрытий из плазмы вакуумного дугового разряда

Белоус, В. А.; Лунев, В. М.; Павлов, В. С.

Перенос массы при осаждении молибденовых покрытий из плазмы вакуумного дугового разряда

Белоус, В. А., Лунев, В. М., Павлов, В. С.

Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2022-12-01T13:08:21Z

Аннотация:

Исследования переноса массы испаряемого вещества в системе катод-подложка при осаждении молибденовых покрытий из плазмы вакуумного дугового разряда, генерируемой источником с магнитным удержанием катодного пятна на рабочей поверхности катода

Ключевые слова:
естественные науки, физика, физика плазмы, плазма, молибден, вакуумный дуговой разряд, катоды

Тип: Article