Влияние облучения ионами инертных и активных газов на структуру тонких пленок переходных металлов

Блажевич, С. В.; Камышанченко, Н. В.; Мартынов, И. С.; Неклюдов, И. М.; Рыбалко, В. Ф.

Влияние облучения ионами инертных и активных газов на структуру тонких пленок переходных металлов

Блажевич, С. В., Камышанченко, Н. В., Мартынов, И. С., Неклюдов, И. М., Рыбалко, В. Ф.

Дата публикации: 2001

Дата публикации в реестре: 2022-12-01T13:09:37Z

Аннотация:

Изложены результаты экспериментов, в которых исследовалась взаимосвязь между размытием дифракционных рефлексов и изменением микроструктуры тонких металлических пленок

Ключевые слова:
физика, физика твердого тела, ионное облучение, структура, микроструктура, переходные металлы, тонкие пленки

Тип: Article