Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние отжига на изменение внутренних напряжений в азотосодержащих углеродных пленках

Колпаков, А. Я.

Дата публикации: 2004

Дата публикации в реестре: 2022-12-01T13:11:36Z

Аннотация:

Предложено объяснение влияния азота, температуры подложки и последующего отжига на изменение величины внутренних напряжений сжатия

Ключевые слова:
техника, металловедение, покрытия, углерод, углеродные пленки, отжиг, напряжение, сжатие, азот

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core