Исследование влияния стехиометрического состава покрытия и режимов термообработки на фазовый состав покрытий системы Y–Al–O

Назаров, Алмаз Юнирович; Хусаинова, Алина Мансуровна; Маслов, Алексей Андреевич; Рамазанов, Камиль Нуруллаевич; Сыртанов, Максим Сергеевич; Николаев, Алексей Александрович; Тулина, Анжела Александровна; Варданян, Эдуард Леонидович

Исследование влияния стехиометрического состава покрытия и режимов термообработки на фазовый состав покрытий системы Y–Al–O

Назаров, Алмаз Юнирович, Хусаинова, Алина Мансуровна, Маслов, Алексей Андреевич, Рамазанов, Камиль Нуруллаевич, Сыртанов, Максим Сергеевич, Николаев, Алексей Александрович, Тулина, Анжела Александровна, Варданян, Эдуард Леонидович

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-02-06T15:01:24Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований покрытий системы Y–Al–O, полученные вакуумно-дуговым методом при одновременном осаждении из двух электродуговых испарителей с однокомпонентными катодами Y и Al. Были подобраны три различных режима осаждения. После осаждения покрытия образцы были отожжены в вакуумной печи при температурах 800 и 1200 °С с целью установить влияние температуры отжига на фазообразование. При всех режимах термообработки образуется фаза YAlO3. С повышением температуры образуются более сложные соединения Y3Al5O12(YAG) иY4Al2O9(YAM). Рентгеноструктурный анализ показал, что температура термообработки и режим нанесения влияют на фазовый состав покрытия, также было установлено, что после осаждения покрытие имеет аморфную структуру. Изучена структура с использованием растрового электронного микроскопа. На образцах после термообработки при температуре 1200 °С наблюдается диффузия подслоя покрытия в основу.

Ключевые слова:
вакуумно-дуговое осаждение, многослойные покрытия, термобарьерные покрытия, плазменная обработка

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 107-115