О порогах плавления системы &quot;пленка – подложка&quot; при облучении низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком

Марков, Алексей Борисович; Соловьев, Андрей Вениаминович

О порогах плавления системы "пленка – подложка" при облучении низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком

Марков, Алексей Борисович, Соловьев, Андрей Вениаминович

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-02-06T15:01:24Z

Аннотация:

На основе численного решения одномерного нестационарного уравнения теплопроводности с объемным тепловым источником проанализировано влияние теплопроводности материала пленки на пороги плавления системы «пленка – подложка» в зависимости от толщины пленки при облучении низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком. Для моделирования источника нагрева использовались экспериментально полученные осциллограммы тока пучка на коллекторе и ускоряющего напряжения. Вариации теплопроводности пленки осуществлялись в широких пределах, перекрывающих весь возможный диапазон для реальных материалов. Определена зависимость порога плавления гомогенного материала от теплопроводности. Также установлены типичные функциональные зависимости порогов плавления системы «пленка – подложка» в зависимости от толщины пленки.

Ключевые слова:
низкоэнергетические сильноточные электронные пучки, численное моделирование, система пленка-подложка, теплопроводность

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 93-98