Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом

Иванов, Юрий Федорович; Ахмадеев, Юрий Халяфович; Коваль, Николай Николаевич; Шугуров, Владимир Викторович; Петрикова, Елизавета Алексеевна; Крысина, Ольга Васильевна; Прокопенко, Никита Андреевич; Толкачев, Олег Сергеевич

Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом

Иванов, Юрий Федорович, Ахмадеев, Юрий Халяфович, Коваль, Николай Николаевич, Шугуров, Владимир Викторович, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Крысина, Ольга Васильевна, Прокопенко, Никита Андреевич, Толкачев, Олег Сергеевич

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-02-06T15:01:27Z

Аннотация:

Сформированы многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N и (NbZrCuTiAl)N путем осаждения на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием в среде азота. Установлено, что сформированные покрытия являются однофазными материалами, имеющими гранецентрированную кубическую кристаллическую решетку с параметром a = 0.44288 нм (покрытие состава (NbZrCuTiAl)N) и с параметром a = 0.40540 нм (покрытие состава (NbMoCrTiAl)N). Формируемые нитридные покрытия имеют нанокристаллическую многослойную структуру. Микротвердость покрытий зависит от концентрации и типа химических элементов, давления азота в газо-металлической плазме и достигает 43 ГПа для покрытия состава (NbMoCrTiAl)N и 46.5 ГПа для покрытия состава (NbZrCuTiAl)N.

Ключевые слова:
нитридные покрытия, квазиэквиатомные составы, вакуумно-дуговое плазменно-ассистированное осаждение, экспериментальные исследования

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 59-64