Влияние процентного содержания аргона в смеси газов Ar–N2 на относительное количество частиц Ar+, N2+, N и N+ в плазме несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом

Ковальский, Сергей Сергеевич; Денисов, Владимир Викторович (канд. техн. наук); Островерхов, Евгений Владимирович; Прокопьев, Владимир Егорович

Влияние процентного содержания аргона в смеси газов Ar–N2 на относительное количество частиц Ar+, N2+, N и N+ в плазме несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом

Ковальский, Сергей Сергеевич, Денисов, Владимир Викторович (канд. техн. наук), Островерхов, Евгений Владимирович, Прокопьев, Владимир Егорович

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-02-06T15:01:27Z

Аннотация:

Представлены результаты исследований аргон-азотной плазмы несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом методом оптической эмиссионной спектрометрии. Плазма генерировалась при напуске смеси газов Ar–N2 с процентным содержанием аргона от 0 до 100% при общем давлении 1 Па. Ток и напряжение разряда поддерживались постоянными и составляли 18 А и 165 В соответственно. Показан существенный рост количества Ar+ (до 30%) при содержании азота в количестве 10−25%, что связано со смещением реакции перезарядки азота с аргоном в сторону генерации ионов аргона. Обнаружено, что при малом парциальном давлении азота (≈ 10%) наблюдается резкий рост содержания атомарного азота, что, вероятно, связано с диссоциацией молекул азота при столкновениях с возбужденным атомом аргона.

Ключевые слова:
аргон, тлеющие разряды, полые катоды, экспериментальные исследования

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 70-76