Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида олова

Шишкин, Николай Яковлевич; Курбачев, О. И.; Чеботарь, Оксана Адамовна; Черкасов, Вадим Анатольевич; Башкиров, Леонид Андреевич; Жарский, Иван Михайлович

Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида олова

Шишкин, Николай Яковлевич, Курбачев, О. И., Чеботарь, Оксана Адамовна, Черкасов, Вадим Анатольевич, Башкиров, Леонид Андреевич, Жарский, Иван Михайлович

Дата публикации: 1999

Дата публикации в реестре: 2023-04-03T10:57:44Z

Аннотация:

Пленки диоксида олова с палладием высокой гомогенности получались методом магнетронного распыления на постоянном токе (при давлении аргона в рабочей камере от 0.1 до 2 Па) металлических оловянных мишеней, а также мишеней с добавками металлического палладия. Сенсорные пленки оксида олова SnO[2] и их легированные модификации были получены методом термического окисления металлического слоя. Были получены пленки чистого оксида олова, а также оксида олова с содержанием палладия 0,7% ат., 1% ат., 2% ат., 3% ат.

Ключевые слова:
тонкие пленки, диоксид олова, палладий, олово, магнетронное распыление, электронная просвечивающая микроскопия, сканирующая микроскопия, электронография, рентгенофазовый анализ, фотоэлектронная спектроскопия

Тип: Article