Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-04-03T11:24:41Z

Аннотация:

В данной статье рассматривается влияние температуры муфеля камеры с горячими стенками на параметры тлеющего разряда. Температура стенки камеры является еще одним управляющим параметром при проведении процесса обработки в тлеющем разряде.

Тип: Working Paper