На основании анализа СЭМ-изображения и масс-спектрометрии твердотельных образцов, полученных наноструктурированных SiO2 : Cu пленок, высказано предположение, что при высокой концентрации Cu ° в пленке формируются изолированные наночастицы меди сферической формы. Построена модель распределения атомов меди в структуре высококремнеземистой матрицы, показано, что распределение меди в структуре пленки требует учета концентрации атомов меди в мишени, технологических режимов и среды формирования пленок. Обоснована перспективность таких материалов для датчиков интенсивности солнечного излучения.