Влияние давления азота на внутренние напряжения, морфологию поверхности и механические свойства наноразмерных углеродных покрытий

Суджанская, И. В.; Колпаков, А. Я.; Поплавский, А. И.; Гончаров, И. Ю.

Влияние давления азота на внутренние напряжения, морфологию поверхности и механические свойства наноразмерных углеродных покрытий

Суджанская, И. В., Колпаков, А. Я., Поплавский, А. И., Гончаров, И. Ю.

Дата публикации: 2011

Дата публикации в реестре: 2023-06-20T09:58:39Z

Аннотация:

Углеродные покрытия, легированные азотом толщиной до 100 нм, получены на подложках монокристаллического кремния импульсным вакуумно-дуговым методом при напуске азота в вакуумную камеру. Исследованы зависимости величины внутренних напряжений, степени шероховатости, механических свойств наноразмерных углеродных покрытий от давления азота

Ключевые слова:
физика, электричество, наноразмерные покрытия, углеродные покрытия, азот, морфология поверхности, легирование азотом, внутренние напряжения, микротвердость, трещиностойкость

Тип: Article