Гидрофобные покрытия на основе перфтордодецилтрихлорсилана

Акулова, В. М.; Соломянский, А. Е.; Толстая, Т. Н.

Гидрофобные покрытия на основе перфтордодецилтрихлорсилана

Акулова, В. М., Соломянский, А. Е., Толстая, Т. Н.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-06-20T10:15:02Z

Аннотация:

Цель настоящей работы – получение гидрофобных покрытий на основе перфтордодецилтрихлорсилана (ПЕДС) для увеличения гидрофобности и износоустойчивости кремниевых поверхностей. Методом центрифугирования на кремниевых поверхностях сформированы гидрофобные покрытия на основе олигомеров перфтордодецилтрихлорсилана, которые могут быть использованы в качестве защитных материалов в узлах трения микроэлектромеханических устройств.

Ключевые слова:
гидрофобные покрытия, фторсодержащие органогалогенсиланы, перфтордодецилтрихлорсилан, кремниевые поверхности, гидрофобные свойства, трибологические свойства

Тип: Article