Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния

Леньшин, А. С., Пешков, Я. А., Черноусова, О. В., Канныкин, С. В., Гречкина, М. В., Агапов, Б. Л.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-06-20T10:15:17Z

Аннотация:

В данной работе представлено влияние технологических режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния.

Ключевые слова:
пористый кремний, эпитаксиальные тонкие пленки, пористые подложки, многослойный пористый кремний, монокристаллический кремний, режимы травления

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core