Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-06-20T10:15:34Z

Аннотация:

Изучены морфология и гидрофильность поверхности металлических (Ti и Сo) пленок на кремнии после облучения ионами Xe{+} и на стекле осажденных в условиях ассистирования собственными ионами. Показано, что облучения кремния ионами Xe с энергиями в диапазоне 10-40 кэВ и флюенсе 10{14} см{−2} не вызывает изменения морфологии поверхности. С ростом времени осаждения пленок гидрофильность поверхности стекла снижается.

Тип: Article