Большинство методов измерения удельного сопротивления основывается на определении разницы потенциалов рабочего участка образца, который находится под действием электрического тока. Для полупроводниковых приборов часто применяют зондовые методы, которые не требуют подготовки образца. Одним из наиболее эффективных методов является четырехэлектродный метод измерения удельного сопротивления.