Исследована рекинетика растворения аморфной двуокиси кмния в растворе фтористого аммония. Показано, что скорость процесса лимитируется диффузионными факторами. Предложено использовать для описания экспериментальных данных уравнения Яндера и Дроздова-Ротиняна.