Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Исследование процессов реактивного распыления тантал-алюминиевой составной мишени методом оптической эмиссионной спектроскопии

Доан, Тхе Хоанг, Нгуен, Ван Ту Ань, Чан, Динь Ньат Хань

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-09-26T11:35:59Z

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)