В статье приведен анализ существующих теоретических методов описания неравновесных плазмохимических реакций в СВЧ-разряде. Показано, что несмотря на недостаточную разработанность и сложность этих методов, они позволяют получить ряд результатов, необходимых для практической реализации плазмохимических процессов.