Влияние анодной обработки n-кремниевых подложек на условия получения свободных никелевых пленок

Курмашев, Виктор Иванович; Патрин, А. А.; Дубин, В. М.; Суслов, В. А.

Влияние анодной обработки n-кремниевых подложек на условия получения свободных никелевых пленок

Курмашев, Виктор Иванович, Патрин, А. А., Дубин, В. М., Суслов, В. А.

Дата публикации: 1985

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T12:29:03Z

Аннотация:

Исследованы условия получения свободных никелевых пленок на подложках из пористого кремния. Установлено, что анодная обработка кремниевых подложек в водном растворе HF приводит к увеличению их адгезионной способности и снижению высоты поверхностного потенциального барьера в кремнии.

Ключевые слова:
никелевые пленки, n-кремниевые подложки, свободные никелевые пленки, кремний, анодная обработка, кремниевые подложки

Тип: Article