Материалов:
1 081 645

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках

Ивашкевич, И.В., Филиппов, В.В.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T13:32:19Z

Тип: Article

Права: open access

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core