Оптимизация лазерной полировки кварцевого стекла с использованием метода планирования вычислительных экспериментов

Емельянов, В.А.; Шершнев, Е.Б.; Никитюк, Ю.В.; Соколов, С.И.; Аушев, И.Ю.; Emelyanov, V.A.; Shershnev, E.B.; Nikitjuk, Y.V.; Sokolov, S.I.; Aushev, I.Y.

Оптимизация лазерной полировки кварцевого стекла с использованием метода планирования вычислительных экспериментов

Емельянов, В.А., Шершнев, Е.Б., Никитюк, Ю.В., Соколов, С.И., Аушев, И.Ю., Emelyanov, V.A., Shershnev, E.B., Nikitjuk, Y.V., Sokolov, S.I., Aushev, I.Y.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T13:42:35Z

Аннотация:

В данной работе с использованием метода полного факторного эксперимента и метода перебора параметров выполнена оптимизация процесса лазерной полировки кварцевого стекла. В результате конечноэлементного моделирования определены режимы лазерной полировки кварцевого стекла с использованием CO₂-лазера, обеспечивающие заданные значения температуры в зоне обработки при минимальных значениях термоупругих напряжений в кварцевых пластинах. In this work, using the method of full factorial experiment and the method of enumeration of parameters, the process of laser polishing of quartz glass is optimized. As a result of finite element modeling, the modes of laser polishing of quartz glass using a CO₂ laser were determined. These modes provide the specified temperatures in the treatment zone at the minimum values of thermoelastic stresses in quartz plates.

Ключевые слова:
лазерная полировка, кварцевая пластина, ANSYS, laser polishing, quartz plate

Тип: Article

Права: open access