Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Применение фазоконтрастного метода дефокусировки для исследования примесной неоднородности полупроводниковых кристаллов

Дата публикации: 1981

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T13:59:30Z

Аннотация:

Рассматривается вопрос выявления примесной неоднородности полупроводников по изменению показателя преломления методом дефокусировки. Получено соотношение, связывающее распределение интенсивности в плоскости изображения с фазовой функцией объекта. Экспериментально исследованы образцы электронного арсенида галлия с полосчатой неоднородностью. Предложен метод колличественного измерения вариации оптической толщины образцов методом дефокусировки.

Тип: Article

Права: open access


Связанные документы (рекомендация CORE)