Об эллипсометрическом исследовании начальных стадий осаждения металлов на диэлектрические подложки

Гривцов, А.Г.; Ергунова, Р.М.; Зорин, З.М.; Крыкин, М.А.; Михайловский, Ю.Н.; Нечаев, А.А.; Тимашев, С.Ф.; Чалых, А.Е.

Об эллипсометрическом исследовании начальных стадий осаждения металлов на диэлектрические подложки

Гривцов, А.Г., Ергунова, Р.М., Зорин, З.М., Крыкин, М.А., Михайловский, Ю.Н., Нечаев, А.А., Тимашев, С.Ф., Чалых, А.Е.

Дата публикации: 1978

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T14:02:44Z

Аннотация:

Проведено эллипсометрическое и электронно-микроскопическое исследования островковых конденсатов золота, полученных осаждением в вакууме на стеклянные подложки, прошедшие пламенную обработку.

Тип: Article

Права: open access

Об эллипсометрическом исследовании начальных стадий осаждения металлов на диэлектрические подложки

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация