Дата публикации: 1985

Дата публикации в реестре: 2023-11-01T14:04:52Z

Аннотация:

При катодном напылении диэлектрических пленок, в частности оптических волноводных пленок Ta₂O₅, имеют место неоднородности толщины и показателя преломления, которые помимо размеров распылительной системы зависят от параметров технологических режимов.

Тип: Article

Права: open access