Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Мочалов, Леонид Александрович; Кудряшов, Михаил Александрович; Поляков, Александр Яковлевич; Прохоров, Игорь Олегович; Вшивцев, Максим Анатольевич; Кудряшова, Юлия Павловна; Князев, Александр Владимирович; Алмаев, Алексей Викторович; Яковлев, Никита Николаевич; Черников, Евгений Викторович; Ерзакова, Надежда Николаевна

Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Мочалов, Леонид Александрович, Кудряшов, Михаил Александрович, Поляков, Александр Яковлевич, Прохоров, Игорь Олегович, Вшивцев, Максим Анатольевич, Кудряшова, Юлия Павловна, Князев, Александр Владимирович, Алмаев, Алексей Викторович, Яковлев, Никита Николаевич, Черников, Евгений Викторович, Ерзакова, Надежда Николаевна

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-12-05T16:04:09Z

Аннотация:

Впервые тонкие пленки системы β-Ga2O3:Zn (содержание Zn от 0 до 10 ат.%) были получены методом плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы индуктивносвязанного высокочастотного (40.68 МГц) разряда при пониженном давлении (0.01 Торр). При этом непосредственно высокочистые элементы – металлические высокочистые галлий и цинк, а также высокочистый кислород использовали в качестве источников макрокомпонентов. Были изучены химический состав, морфология поверхности, спектры комбинационного рассеяния полученных тонких пленок β-Ga2O3:Zn, а также спектры катодной люминесценции и электрофизические свойства.

Ключевые слова:
тонкие пленки, оксид галлия, катодная люминесценция, электрические свойства

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66-73