Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

Вахрушев, Димитрий Олегович; Гурулев, Александр Валерьевич; Ефимов, Дмитрий Давидович; Иванова, Анна Ивановна; Корнева, Ольга Сергеевна

Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность

Вахрушев, Димитрий Олегович, Гурулев, Александр Валерьевич, Ефимов, Дмитрий Давидович, Иванова, Анна Ивановна, Корнева, Ольга Сергеевна

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-12-05T16:09:16Z

Аннотация:

Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субмиллисекундной длительности. Показана возможность получения ионно-легированных слоёв с толщиной от менее 0.1 мкм до более чем 1 мкм в зависимости от флюенса облучения.

Ключевые слова:
ионная имплантация, энергетическое воздействие, динамика температурных полей, радиационно-стимулированная диффузия, глубокое ионное легирование

Тип: статьи в журналах

Права: open access

Источник: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 4. С. 134-137