Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Characterization of hexamethyldisiloxane plasma polymerization in a DC glow discharge in an argon flow

Zuza, Daniil A., Nekhoroshev, Vitaly O., Batrakov, Alexander V., Markov, Alexey B., Kurzina, Irina A.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2023-12-05T16:15:40Z

Аннотация:
Ключевые слова:
плазменная полимеризация, гексаметилдисилоксан, тлеющий разряд в потоке газа, газовый разряд постоянного тока

Тип: статьи в журналах

Источник: Vacuum. 2023. Vol. 207. P. 111690 (1-10)

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core