С помощью золь-гель метода получены фторированные гели и обезвоженное кварцевое стекло с содержанием гидроксильных групп 3-5 ррm (газофазное фторирование) и 30-80 ррm (жидкофазное фторирование). Исследовано "поведение" ионов фтора в пористой структуре при термической эволюции гелей до состояния прозрачного кварцевого стекла. Приведены результаты порометрии, растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии фторсодержащих гелей и обезвоженного кварцевого стекла. Полученные монолитные ксерогели и оптические высокочистые стекла могут найти применение в оптическом приборостроении, квантовой электронике и системах связи.