Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al

Тульев, Валентин Валентинович

Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T12:18:26Z

Аннотация:

В работе представлены экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в Cr/Si- и Сr/Al-структурах, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методами резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и резонансных ядерных реакций.

Ключевые слова:
покрытия на основе хрома, метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме, осаждение покрытий, метод резерфордовского обратного рассеяния, метод резонансных ядерных реакций, распределение элементов в Cr/Si-структурах, распределение элементов в Сr/Al-структурах

Тип: Article

Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация