Некоторые вопросы обработки полупроводниковых материалов

Калиниченко, Александр Сергеевич; Басинюк, В. Л.; Тычинская, И. Д.; Ковенский, А. Е.; Карпович, Т. Л.; Карпова, И. В.

Некоторые вопросы обработки полупроводниковых материалов

Калиниченко, Александр Сергеевич, Басинюк, В. Л., Тычинская, И. Д., Ковенский, А. Е., Карпович, Т. Л., Карпова, И. В.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T12:22:47Z

Аннотация:

В работе приводятся результаты исследований по применению лезвийной обработки твердых материалов с применением резцов из кубического нитрида бора. Также проведены основы методических подходов к созданию адаптивной системы управления приводными системами прецизионного оборудования для микроэлектроники.

Ключевые слова:
обработка твердых материалов, обработка полупроводниковых материалов, обработка сверхтвердых материалов, синтетические поликристаллические материалы, скоростная лезвийная обработка, применение кубического нитрида бора, программно-управляемые приводы, разделение полупроводниковых пластин

Тип: Article

Некоторые вопросы обработки полупроводниковых материалов

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация