Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T12:51:43Z

Аннотация:

Для получения функциональных слоев газовых сенсоров на основе оксида цинка был использован метод ионного наслаивания (Successive Ionic Layer Adsorbtion and Reaction, SILAR). Осаждение пленок проводилось на нанопористые подложки из оксида алюминия, как на пористую, так и на барьерную сторону. Часть полученных образцов были подвергнуты термической обработке для исследования влияния температуры на морфологию полученных пленок. Выявлены различия в структуре поверхности полученных поликристаллических пленок, осажденных на пористой и барьерной поверхностях подложки. Отмечено укрупнения составляющих пленку зерен в результате нагрева.

Тип: Working Paper