Представлены результаты комплексного упрочнения поверхности инструментальной стали с использованием ионно-лучевого азотирования и формирования покрытий карбонитридной керамики. Показано, что предварительная обработка поверхности азотом способствует повышению механических характеристик осажденного покрытия.
Установлено присутствие фаз (Fe, Cr)2 Nx-1 и b-W2N в азотированном слое стали. Определено, что твердость модифицированной поверхности возрастает до 1560 кгс/мм2. Азотирование способствует повышению адгезии покрытия ZrNC к основе и снижает вероятность трещинообразования в осаждаемых тонкопленочных конденсатах.