Технологические приемы создания интерпозеров на основе однослойных и двухслойных Al2O3-пластин с имплантированной системой алюминиевых переходных элементов - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Технологические приемы создания интерпозеров на основе однослойных и двухслойных Al2O3-пластин с имплантированной системой алюминиевых переходных элементов

Шиманович, Д. Л.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T12:54:43Z

Аннотация:

Тип: Working Paper

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ

ТГУ

Elpub

СФУ

Webpublishers

Индексация

BASE

WorldCat

OpenAIRE

EDS

core