Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:33:12Z

Аннотация:

Разработан технологический процесс и оборудование для нанесения покрытия оксида титана на полимерные рулонные материалы. Определены закономерности формирования температурного поля системы покрытие - подложка при воздействии на ее рабочую поверхность равномерно распределенного теплового потока, когда во время осаждения покрытий подложка совершает планетарное движение в технологической камере. Установлены основные технологические параметры, обеспечивающие получение магнетронных покрытий с требуемыми адгезионными характеристиками при минимальной деструкции подложки.

Тип: Научный доклад (Working Paper)