Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий

Лаппо, А. И.; Ярмолик, В. И.; Муравьев, А. С.

Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий

Лаппо, А. И., Ярмолик, В. И., Муравьев, А. С.

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:20:32Z

Аннотация:

В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине с использованием лазерного луча движущегося по заданной траектории.

Ключевые слова:
материалы конференций, кремниевые пластины, лазерное излучение, переходные отверстия

Тип: Article

Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация