Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Ланин, В. Л.; Лаппо, А. И.; Первенецкий, А. П.

Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Ланин, В. Л., Лаппо, А. И., Первенецкий, А. П.

Дата публикации: 2018

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:21:34Z

Аннотация:

Моделированием установлено, что диаметр и глубина отверстий зависят нелинейно от энергии излучения, поэтому эффективно применять лазер с энергий более 5 Дж. Многоимпульсная обработка позволяет получать отверстия серией коротких импульсов, период следования которых значительно больше времени остывания материала. Для кремния, обладающего большей тепло-проводностью, необходимо увеличить частоту импульсов и вре-мя обработки в сравнении с поликором в 4 раза.

Ключевые слова:
публикации ученых, лазерное излучение, прошивка отверстий, кремний, 3D структуры

Тип: Статья

Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация