Материалов:
1 082 141

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком

Кабак, Т. В.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:22:23Z

Аннотация:

Проводится анализ топологии фрагмента сечения интегральной микросхемы (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком.

Ключевые слова:
публикации ученых, интегральные микросхемы, ионные пучки, ионные микроскопы

Тип: Статья

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core