Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:22:37Z

Аннотация:

Проведено исследование формирования тонкопленочных покрытий из боросиликатного стекла. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость нанесения пленок, являются ускоряющее напряжение на аноде, ток разряда, мощность разряда и ток компенсатора.

Тип: Article