Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:23:59Z

Аннотация:

Проведён обзор особенностей плазменной очистки и модификации поверхностей из различных материалов, применяемых в оптике и микроэлектронике.

Тип: Article