Исследование влияния режимов импульсного электропитания и конструктивных особенностей на скорость нагрева верхней пластины полого катода планарного типа для тлеющего разряда с эффектом полого катода

Мадвейко, С. И.; Лушакова, М. С.; Божко, А. И.

Исследование влияния режимов импульсного электропитания и конструктивных особенностей на скорость нагрева верхней пластины полого катода планарного типа для тлеющего разряда с эффектом полого катода

Мадвейко, С. И., Лушакова, М. С., Божко, А. И.

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:27:47Z

Аннотация:

Проведены результаты экспериментов по нагреву электрода-катода с помощью тлеющего разряда с эффектом полого катода при различных режимах электропитания и давления плазмообразующего газа.

Ключевые слова:
публикации ученых, полый катод, тлеющий разряд

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация