Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

Вакуумплотная герметизация микроболометров

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:28:23Z

Аннотация:

Рассмотрены особенности конструкции корпусов микроболометров, сделан выбор материала преформы для герметизации корпуса паяным швом. Приведены характеристики геттерных пленок и преимущества их нанесения на обратную сторону германиевого окна. Разработана методика вакуумноплотной герметизации корпусов микроболометров с германиевыми окнами.

Тип: Article


Связанные документы (рекомендация CORE)