Дата публикации: 1996

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:28:57Z

Аннотация:

Анодный и термический Zr02 являются весьма перспективными материалами в технологии микроэлектроники, в частности крио-ИМС. Их применение позволяет создавать воспроизводимые по параметрам сверхпроводниковые микроструктуры, субмикронные элементы, что позволяет решить сложные технологические задачи микроэлектроники и создать качественно новые микроэлектронные структуры.

Тип: Статья