Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур

Воробьева, А. И.; Уткина, Е. А.

Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:30:12Z

Аннотация:

При изготовлении современных ИМС наиболее серьезные технологические проблемы связаны с формированием металлических межсоединений. Монтаж кремниевых кристаллов по принципу трехмерной сборки кристаллов (3D-технология) позволяет в значительной мере решить эти проблемы.

Ключевые слова:
материалы конференций, трехмерные микроструктуры, металлические межсоединения, кремниевые пластины

Тип: Article