Материалов:
1 005 021

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Метод контроля размеров микроэлектронных структур на основе микроскопии ГУФ диапазона

Сербин, И. И.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:30:13Z

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, микроэлектроника, микроскопия

Тип: Автореферат

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

КФУ
ТГУ
Elpub
СФУ
Webpublishers

Индексация

BASE
WorldCat
OpenAIRE
EDS
core