Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния

Чубенко, Е. Б.; Гревцов, Н. Л.; Бондаренко, В. П.; Гаврилин, И. М.; Павликов, А. В.; Дронов, А. А.; Волкова, Л. С.; Гаврилов, С. А.

Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния

Чубенко, Е. Б., Гревцов, Н. Л., Бондаренко, В. П., Гаврилин, И. М., Павликов, А. В., Дронов, А. А., Волкова, Л. С., Гаврилов, С. А.

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:33:13Z

Аннотация:

Исследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов.

Ключевые слова:
публикации ученых, пористый кремний, спектроскопия комбинационного рассеяния света, электрохимическое осаждение

Тип: Article

Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния

Связанные документы (рекомендация CORE)

Партнеры

Индексация